parker超凈應用（UHP）-高壓不銹鋼隔膜閥

派克漢尼汾945系列不銹鋼隔膜閥提供優良的泄漏完整性,高循環壽命,及低的粒子生成,從真空應用到3500 psig壓力范圍可用.適用于超高壓半導體應用,包括高壓工藝線、氣體控制柜和閥門分配箱系統

作為儀器儀表流體控制系統技術的行業*，派克漢尼汾945系列不銹鋼隔膜閥提供優良的泄漏完整性，高循環壽命，以及低的粒子生成，從真空應用到3500 psig壓力范圍可用。它適用于超高壓半導體應用，包括高壓工藝線、氣體控制柜和閥門分配箱系統（VMBS）。

派克漢尼汾945系列不銹鋼隔膜閥可以選擇手動或氣動操作。這兩個選項都是內部無彈簧和無螺紋設計，這使顆粒產生和捕獲更小化，從而減少了過程污染。閥門的嚴格設計控制閥座和膜片的應力，提供穩定和免維護的使用壽命。該閥還具有壓縮構件，其均勻地加載密封件，而不需要螺紋部件或壓接操作。

945系列不銹鋼隔膜閥沾濕組件由特殊金屬制造，以提供優異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥門本體是由Veriflo的的內部電解拋光316L不銹鋼材質生產而成。膜片是一種高強度鈷基合金。閥座材料可在PCTFE，PEEK™ 或Vespel® 這些選項中選擇，這允許945系列用于廣泛的危險和惰性工藝流體。這些材料，結合閥門嚴格的設計特點，在工作壓力高達3500 psig時，具有很高的耐腐蝕性和優良的穩定性。氣動選項可以配置為提供具有限位開關的開閉位置指示。

945個系列不銹鋼隔膜閥門都是在100級潔凈室制造的。內部（閥座）密封和金屬外部密封是使用質譜儀氦氣泄漏測試，以實現在要求UHP超高純應用環境的使用性能和穩定性。

市場應用：
• 半導體生產
• 分析實驗室
• 藥物分析，生產
• 生物危害
• 航空航天
• 工業生產

特點/優勢：
• 在管材上加工，這允許改進尺寸控制。
• 5微米（Ra）電拋光表面光潔度
• 高循環壽命（包括腐蝕性應用工況）
• 內部無彈簧和無螺紋設計使顆粒產生和氣體捕獲更小
• 全功能化設計從真空到300psig可用
• 內部泄漏率：小于1×10-9 SCC/SEC
• 外部泄漏率：小于2×10-10SCC/SEC
• 75 PSIG常開常關氣動AOP執行壓力（大值）

典型應用：
• 腐蝕性和特殊性氣體
• 半導體設備
• 半導體設備二次配管
• 氣體控制柜
• 閥門分配箱系統（VMB）

Vespel® 是杜邦性能彈性體L.L.C的注冊商標。
VeriClean™ 是派克漢尼汾公司的商標。
PEEK™ 聚醚醚酮是維克特斯PLC的商標。

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